如今人們在工業上對于多種氣體的使用更為熟練，同時在咱們生活中也有了它們的身影。而對于不同氣體物質之間的提純技術就顯得尤為重要了起來。
氣體分為單質氣體、多元氣體、混合氣體和有機化合物氣體等，所以可將組成氣體的物質(或元素)稱為該氣體成分。因此氣體純度的含意可理解為:除本氣體成份外，所含其它物質的多少。例如:氮氣的純度，是指除N成份外，含的02、H2、Ar、CO2、H20、金屬、塵粒等雜質的多少;氨氣的純度，是指除NHg成份外，含有的02、N2、 CO2、 H20、 塵粒等雜質的多少;又如氮和氦的混合氣，是指除N2和He成份外，含有的02、CO2、 H20塵粒等雜質的多少。
氣體純度的提法有多種，如普通純、高純氣體、電子純、特純等，隨著超大規模集成電路(VLSI) 和特大規模集成電路(ULSI)的發展，又有VLSI和UL Sl級純的超凈氣體。這些提法都不十分確切，只是粗略的講了氣體純度的高低，沒有真的說明氣體純度的大小。
氣體純度常用的表示方法:
1、用靦分數表示，如99，99.5 ,99.9 ,99.99,99.999,99.9999,99.9999等百分比。
2、用“N"表示，如3N, 5N, 4.8N, 5.5N, 6N, 7N等，N數目與(1) 中的“9”的個數相對應，小數點后的數表示不足“9”的數。如4N (99.99百分比)，6N ( 99.999百分比) ,7N(99.9999百分比),48N(99.998百分比),5 5N(99.9995百分比)等。
根據氣體純度的不同，通常又將氣體純度分為四級，即普通氣體、純氣體、高純氣體和超高純氣體，以下給出氣體純度等級和器件生產工藝上的應用。
氣體等級
普通氣體 純度要求：99.9百分比 ，器件生產工藝上的應用：一般器件;純氣體 純度要求：99.99-99.999百分比 ，器件生產工藝上的應用：晶體管和晶閘管等;高純氣體 純度要求：99.999-99.9999百分比 ，器件生產工藝上的應用：大規模集成電路和特殊器件等;超高純氣體 純度要求：> 99.9999百分比 ，器件生產工藝上的應用：超大規模集成電路和特大規模集成電路等
